チップ洗浄機
2流体でウェーハを徹底洗浄します。
純水とエアーの2流体でダイシング後のウェーハ表面を洗浄する装置です。 独自開発の洗浄カップで浮遊系ダストの再付着を制御します。 ご使用用途に応じ、様々なアレンジに対応します。 【特徴】 ■搬送部をコンパクトにすることで、装置の小型化に成功 ■純水とエアーの2流体でウェーハを徹底洗浄が可能 ■歩留まりに貢献
- Company：レイリサーチ株式会社
- Price：1000万円 ~ 5000万円
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