【薬液,純水用/Oリングフリー】フッ素樹脂製チャッキバルブ
薬液や純水ラインでの逆流防止に!接液部が全てPTFEなので様々な腐食性流体に対応しております。
半導体製造装置や薬液配管の流体の逆流を防ぐ逆止弁(チャックバルブ)です。スプリングなどの接液部は全てPTFE製で、低いクラッキング圧力で作動します。Oリングなしでシールが可能で、高純度流体に最適です。
- 企業:ゲミュージャパン株式会社
- 価格:応相談
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薬液や純水ラインでの逆流防止に!接液部が全てPTFEなので様々な腐食性流体に対応しております。
半導体製造装置や薬液配管の流体の逆流を防ぐ逆止弁(チャックバルブ)です。スプリングなどの接液部は全てPTFE製で、低いクラッキング圧力で作動します。Oリングなしでシールが可能で、高純度流体に最適です。
Y型リフト式チャッキバルブ
Y型のアングルシート形状のため圧力損失が少なく コンパクトながら高い流量能力を持ちます。 シート部はPTFEまたはPFAで高いシール性を持ちます。(DIN EN12266-1 Leakage rate A) ボディ内面研磨加工も対応可能です。