半導体用静電チャック印刷機
静電チャックに特化し、生産に必要な機能を搭載
・プロセス上の不安定要素を軽減する高剛性・高精度構造 ・レシピ設定にて、スキージ速度、スクレッパ押込量、テーブル吸引量が可変 ・スクリーン版の両離着機構付 写真は、オペレータの印刷条件設定を支援する独自のAI搭載機
- 企業:マイクロ・テック株式会社
- 価格:応相談
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静電チャックに特化し、生産に必要な機能を搭載
・プロセス上の不安定要素を軽減する高剛性・高精度構造 ・レシピ設定にて、スキージ速度、スクレッパ押込量、テーブル吸引量が可変 ・スクリーン版の両離着機構付 写真は、オペレータの印刷条件設定を支援する独自のAI搭載機