ドライクリーナ UVU-F型フラットパネル用超音波ドライクリーナ
ミクロの限界を超えた除塵能力
UVU-Fパネルクリーナは、断面が、Ultrasonic Pressure / Vacuum /Ultrasonic Pressureと並べられた構造を採用(特許取得)したことにより、従来の非接触式パネルクリーナの限界を越えた高性能パネルクリーナとなりました。
- 企業:株式会社伸興
- 価格:応相談
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ミクロの限界を超えた除塵能力
UVU-Fパネルクリーナは、断面が、Ultrasonic Pressure / Vacuum /Ultrasonic Pressureと並べられた構造を採用(特許取得)したことにより、従来の非接触式パネルクリーナの限界を越えた高性能パネルクリーナとなりました。
両面同時クリーニング可能でブロワーは、小型・省スペースで安価
VUV-Fパネルクリーナは、断面がVacuum/Ultrasonic Pressur/Vacuumと並べられた構造を採用しています。弊社の特許であるUV式に更にVacuumを加えたことにより、更に性能はアップしました。
0.4mmの薄板ガラス、樹脂基板の両面クリーニングに成功!!
世界初!0.4mmの薄板ガラス、樹脂基板の両面クリーニングに成功!!吸着テーブル不要の両面同時クリーニングシステムです。後工程の装置汚染を防ぎ、3ミクロンのシリカビーズは100%除去いたします。装置全体でのコストダウンを実現し、装置全体でのコストダウンを実現します。