バタフライコントローラ(圧力制御) - 企業1社の製品一覧

バタフライコントロールシステム　Series 61.2

CVDなどの高速で高度なプロセスに最適な圧力制御用バルブ

-優れた圧力制御能力 -サービス時期の自動検出（コンタミネーション検出） -サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX接続用） -コンタミの多いプロセスへの優れた適応性

• 企業：VAT株式会社
• 価格：応相談

• 真空機器