CVDなどの高速で高度なプロセスに最適な圧力制御用バルブ
-優れた圧力制御能力 -サービス時期の自動検出（コンタミネーション検出） -サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX接続用） -コンタミの多いプロセスへの優れた適応性
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基本情報
サイズ: DN25-320mm (1“ – 12“) アクチュエータ: 搭載型コントローラ ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール: 回転軸シール 標準フランジ: ISO-KF、ISO-F リーク量: バルブボディ < 1 × 10 -9 mbar ls -1 使用圧力範囲: 1 × 10 -8 mbar～1.2 bar (abs) 第一回サービスまでのサイクル数: 二百万回 取付け方向: 自由（ポンプ側のシャフト取付けを推奨）
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用途／実績例
SEMI、FPD、PV、SOLAR、産業分野の圧力制御用バルブ。特に高速で高度なプロセスに最適 例: CVD
ラインアップ（18）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| 61228-KAGG | DN25 ISO-KF アルミニウム |
| 61232-KAGG | DN40 ISO-KF アルミニウム |
| 61234-KAGG | DN50 ISO-KF アルミニウム |
| 61236-PAGG | DN63 ISO-F アルミニウム |
| 61238-PAGG | DN80 ISO-F アルミニウム |
| 61240-PAGG | DN100 ISO-F アルミニウム |
| 61244-PAGG | DN160 ISO-F アルミニウム |
| 61246-PAGG | DN200 ISO-F アルミニウム |
| 61248-PAGG | DN250 ISO-F アルミニウム |
| 61228-KEGG | DN25 ISO-KF ステンレススチール |
| 61232-KEGG | DN40 ISO-KF ステンレススチール |
| 61234-KEGG | DN50 ISO-KF ステンレススチール |
| 61236-PEGG | DN63 ISO-F ステンレススチール |
| 61238-PEGG | DN80 ISO-F ステンレススチール |
| 61240-PEGG | DN100 ISO-F ステンレススチール |
| 61244-PEGG | DN160 ISO-F ステンレススチール |
| 61246-PEGG | DN200 ISO-F ステンレススチール |
| 61248-PEGG | DN250 ISO-F ステンレススチール |
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企業情報
半導体やディスプレイ、ソーラーパネルの製造や研究開発用途など真空を必要とする分野において、 最先端の研究開発および製造プロセス向けのミッションクリティカルなソリューションを提供するイノベーションパンパニーです。 イノベーションと卓越したエンジニアリングがVATのテクノロジーソリューションとサービスの原動力です。 VATが提供する製品やサービスは高度にカスタマイズされます。 これはお客様に妥協のないソリューションを提供するというVATの強い意志の表れです。 スイスで創業以来、過去60年にわたり、VATは日本を含むグローバルマーケットで真空バルブとその関連技術において 革新的なソリューションを開発、提供することで世界をリードする地位を築いてきました。