特に過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適なコントロールバルブ
-高速、パーティクルフリー、ショックフリーな動作 -極めて短い制御応答時間 -サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX2接続用)
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基本情報
サイズ: DN 100 – 400 mm (4“ – 16“) アクチュエータ: 搭載型コントローラ ボディ材質 アルミニウム: 表面処理なしまたは硬質アルマイト加工 軸シール: 回転軸シール 標準フランジ: ISO-F、JIS リーク量 バルブボディ アルミニウム: < 1 × 10-9 mbar ls-1 アルミニウム、硬質アルマイト加工: < 1 × 10-5 mbar ls-1 リーク量 バルブシート アルミニウム: < 1 × 10-9 mbar ls-1 アルミニウム、硬質アルマイト加工: < 1 × 10-4 mbar ls-1 使用圧力範囲 アルミニウム: < 1 × 10-8 mbar～1.2 bar (abs) アルミニウム、硬質アルマイト加工: < 1 × 10-6 mbar～1.2 bar (abs) 第一回サービスまでのサイクル数 圧力制御: 百万回 閉/開: 200,000 軸シール アクチュエータ: 回転軸シール シーリングリング: Oリング軸シール
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用途／実績例
SEMI、FPDプロセスのダウンストリーム圧力制御および真空封止用バルブ
ラインアップ（26）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| 65040-PAGG | DN100 ISO-F アルミニウム |
| 65044-PAGG | DN160 ISO-F アルミニウム |
| 65046-PAGG | DN200 ISO-F アルミニウム |
| 65048-PAGG | DN250 ISO-F アルミニウム |
| 65050-PAGG | DN320 ISO-F アルミニウム |
| 65052-PAGG | DN400 ISO-F アルミニウム |
| 65040-JAGG | DN100 JIS保守用フランジ アルミニウム |
| 65044-JAGG | DN160 JIS保守用フランジ アルミニウム |
| 65046-JAGG | DN200 JIS保守用フランジ アルミニウム |
| 65048-JAGG | DN250 JIS保守用フランジ アルミニウム |
| 65050-JAGG | DN320 JIS保守用フランジ アルミニウム |
| 65051-JAGG | DN350 JIS保守用フランジ アルミニウム |
| 65052-JAGG | DN400 JIS保守用フランジ アルミニウム |
| 65040-PHGG | DN100 ISO-F アルミニウム、硬質アルマイト加工 |
| 65044-PHGG | DN160 ISO-F アルミニウム、硬質アルマイト加工 |
| 65046-PHGG | DN200 ISO-F アルミニウム、硬質アルマイト加工 |
| 65048-PHGG | DN250 ISO-F アルミニウム、硬質アルマイト加工 |
| 65050-PHGG | DN320 ISO-F アルミニウム、硬質アルマイト加工 |
| 65052-PHGG | DN400 ISO-F アルミニウム、硬質アルマイト加工 |
| 65040-JHGG | DN100 JIS保守用フランジ アルミニウム、硬質アルマイト加工 |
| 65044-JHGG | DN160 JIS保守用フランジ アルミニウム、硬質アルマイト加工 |
| 65046-JHGG | DN200 JIS保守用フランジ アルミニウム、硬質アルマイト加工 |
| 65048-JHGG | DN250 JIS保守用フランジ アルミニウム、硬質アルマイト加工 |
| 65050-JHGG | DN320 JIS保守用フランジ アルミニウム、硬質アルマイト加工 |
| 65051-JHGG | DN350 JIS保守用フランジ アルミニウム、硬質アルマイト加工 |
| 65052-JHGG | DN400 JIS保守用フランジ アルミニウム、硬質アルマイト加工 |
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企業情報
半導体やディスプレイ、ソーラーパネルの製造や研究開発用途など真空を必要とする分野において、 最先端の研究開発および製造プロセス向けのミッションクリティカルなソリューションを提供するイノベーションパンパニーです。 イノベーションと卓越したエンジニアリングがVATのテクノロジーソリューションとサービスの原動力です。 VATが提供する製品やサービスは高度にカスタマイズされます。 これはお客様に妥協のないソリューションを提供するというVATの強い意志の表れです。 スイスで創業以来、過去60年にわたり、VATは日本を含むグローバルマーケットで真空バルブとその関連技術において 革新的なソリューションを開発、提供することで世界をリードする地位を築いてきました。
