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卓上型ランプ加熱装置　MILA-5000Zシリーズ

半導体製造プロセスは高密度、微細化の進展によりRTPが重要な加熱技術として注目されています。

MILA-5000シリーズは赤外線ゴールドイメージ炉の特長である高速加熱・冷却、クリーン加熱が行なえます。自在な雰囲気下で加熱する事が可能で温度コントローラと雰囲気可変チャンバが一体化した小型で低価格な赤外線ランプ加熱装置です。 加熱操作をUSB接続によりパソコン上で行なえ、手軽にデータ管理出来ます。