更新日： 集計期間:2025年11月19日～2025年12月16日
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漏洩の可能性を削減する二重構造液路！高速応答を実現する薬液ヒーターをご紹介
『UFシリーズヒーター』は、応答時間が速く、高精度のプロセス制御を 実現する超純度フレキシブル薬液ヒーターです。 特許取得済みのフレキシブル加熱技術により、限られたスペースにも 設置することが可能。 また、既存のPFA薬液路をフレキシブルなインラインシステムへと進化させた ことにより、使用場所を選ばず、既存の薬液供給装置に容易に組み込むことが できます。 【特長】 ■特許取得済加熱技術 ■トップレベルの応答時間 ■高純度液路 ■窒素パージ不要 ■液気対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
半導体洗浄装置の洗浄に最適！消費電力も少なく節電対策にもなります。
ＡＱヒーターは、半導体製造プロセスの洗浄用・各種薬液の加熱を 低温で加熱できるヒーターです。 接液部は全て高純度の透明石英ガラスで、又当社独自の赤外線加熱の為、 不純物（ガラスの溶出）の汚染を最小限に抑え、且つ安全にご使用頂ける ヒーターです。 ・加熱方式が当社独自の赤外線加熱方式の為、流体のピーク 波長が近いので透過率を最小限に抑え、また昇温時間が極 めて早い。 ・流体のピーク波長に近い為、ヒーター表面温度を低くし、 不純物（ガラスの溶出）の汚染を最小限に抑えます。 ・コンパクト設計の為、小スペースで取り付けが出来ます。
フッ素樹脂ヒーター
シーズヒーターにフッ素樹脂チューブで完全被覆又は、 コーティング仕上げをしたヒーターです。 【特長】 ・アルカリ液や、各種薬液に最適です。 ・シーズヒーターに更にフッ素樹脂で絶縁されており、電気的にも安全です。 ・イオンの流出がありません。 ◎御使用上の注意 ・空焚きをしますと、フッ素樹脂が溶解します。 ・ヒーター表面に衝撃を与えますとフッ素樹脂に傷が付きますので 丁寧に御取り扱い下さい。 ※詳細は【資料請求・カタログダウンロード】まで
用途に応じて最適な製品をご提供します。
水用、油用、薬液用など用途に合わせてご使用いただけるよう多数取り揃えています。 【ラインナップ】 ○HP/SOP型プラグヒーター ○投込型パイプヒーター ○パイプヒーター「ブッシュ付」 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
半導体薬液処理槽内に設置！処理槽の形状に合わせて製作いたします
『EDH』は、接液部に全てPFA・PTFEを使用したフッ素樹脂製ヒーターです。 標準の容量は1KWから5KWで、処理槽の形状に合わせて製作いたします。 その他に、標準以外も製作可能です。 半導体高純度薬品をはじめ、超純水、純水や化学薬品、メッキ関係、 実験装置にご使用いただけます。 【特長】 ■接液部は全てPFA・PTFE製 ■処理槽の形状に合わせて製作 ■標準の容量は1KWから5KW ■標準以外も製作可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
