半導体洗浄装置の洗浄に最適！消費電力も少なく節電対策にもなります。
ＡＱヒーターは、半導体製造プロセスの洗浄用・各種薬液の加熱を 低温で加熱できるヒーターです。 接液部は全て高純度の透明石英ガラスで、又当社独自の赤外線加熱の為、 不純物（ガラスの溶出）の汚染を最小限に抑え、且つ安全にご使用頂ける ヒーターです。 ・加熱方式が当社独自の赤外線加熱方式の為、流体のピーク 波長が近いので透過率を最小限に抑え、また昇温時間が極 めて早い。 ・流体のピーク波長に近い為、ヒーター表面温度を低くし、 不純物（ガラスの溶出）の汚染を最小限に抑えます。 ・コンパクト設計の為、小スペースで取り付けが出来ます。
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基本情報
実積として、従来１２ｋｗ（他社製）で使用している装置に１０．８ｋｗ（AQヒーター）でご使用頂いております。
価格情報
-
納期
~ 1ヶ月
用途／実績例
半導体製造プロセスでの洗浄・各種薬液の加熱に使われております。
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企業情報
私共、ダステムはお客様からの信用と信頼を戴ける様、各方面に目を見開き技術的情報収集に努めると共に、トータルサービスとは何か。 常にお客様の立場に立って、日々最大限の努力を積み重ねる事を基本として皆様方のお役に立てればと願っています。