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許容ベーキング温度は200℃！蒸着物から守ることができるビューポートシャッター
『VPSシリーズ』は、高真空に影響を与えず、ビューポートを蒸着物から 守ることができるシャッターです。 シャッター方式はフラッパーで、許容ベーキング温度は200℃。 質量が0.8kgの「VPS-070」をはじめ、1.8kgの「VPS-114」や「VPS-152」 などをラインアップしております。 【特長】 ■高真空に影響を与えず、ビューポートを蒸着物から守る ■シャッター方式：フラッパー ■使用圧力範囲：大気圧～10^-8Pa ■許容ベーキング温度：オートメタル 200℃ ■リーク量：2×10^-11Pa・m3/sec以下 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ビューポートシャッター SFシリーズ
蒸着、スパッタ、MBE、CVDなどの成膜プロセス 有機ガスを含むプロセス中で問題となるビューポートへの成膜やダメージを防止 【特徴】 ○コンフラットフランジ仕様により、MBE装置等 各種超高真空装置に使用可能 ○回転導入機も200℃ベーキング対応の RFTシリーズを使用しているため、高温ベーキングが可能 ○φ70CF〜φ203CFまで対応 ○ほとんど隙間なく閉じることができ、高蒸気圧の試料にも効果あり ○オプションのシールドガラス、RHEEDスクリーンが装着可能 ○簡単な組み替えで開閉方向を変更可能 ○特殊サイズフランジの製作も可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
スライド式のUHVビューポートシャッター 理想的な光学遮蔽と開放時の視野を確保、シヤッター板の駆動空間が不要で装置取付も容易
スライド式のビューポートシャッターです。従来主流の回転フラッパー式シャッターと比べ、理想的な光学遮蔽状態と開放時の良好な視野が確保できます。 装置取付時のシャッター板駆動空間も不要です。 サイズはCF70～203までラインナップ、特注仕様も対応可能です。
