ECRラインビームイオン源『ELBS-150』
ビームエネルギー100～2 000eV！独創的な磁路設計による均一長尺イオンビーム
『ELBS-150』は、反応性イオンビームミリング装置に適用できる ECR(電子サイクロトロン共鳴)放電型のラインビームイオン源です。 新開発の大型同軸導入端子(7/16型)による大電力マイクロ波駆動。 磁気ヘッドのミリング加工や高周波回路のトリミング調整などに応用できます。 【特長】 ■独創的な磁路設計による均一長尺イオンビーム ■新開発の大型同軸導入端子(7/16型)による大電力マイクロ波駆動 ■メタルコンタミフリーの誘電体ライニング ■新開発の長寿命ビーム電極 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ノベリオンシステムズ株式会社
- 価格：応相談
