更新日： 集計期間:2026年02月25日～2026年03月24日
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光学ミラーの精密制御、レーザーシステム、スキャニング（走査）装置に最適です。
積層ピエゾアクチューエーターに予備圧縮力を与えて金属ケースに内蔵しています。 ・MPA-UAシリーズ 最大発生力850N ・MPA-UBシリーズ 最大発生力1700N ・MPA-UCシリーズ 最大発生力3500N ・MPA-UDシリーズ 最大発生力7000N ・MPA-UEシリーズ 最大発生力20000N 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで高精度な位置決めができます。 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
スタティックとダイナミックのアプリケーションの為の高分解能。プリロード付きピエゾアクチュエータ（HVPZT）センサーオプション付
P-216は、1000V駆動の高電圧型ピエゾアクチュエータで、オプションで真空対応も可能です。 ストロークは、15µm～最大180µmタイプで、4500NのPush力と500NのPull力を持ち、内部に歪みゲージセンサー内蔵し、クローズドループ制御にでナノレベル位置決めを可能にします。 用途例 ・アクティブ振動吸収 ・アダプティブメカニクス ・光学・計測技術・干渉計 ・スイッチ ・レーザーチューニングなど ドイツ本社50年以上の実績と、日本法人30年の経験で培ってきた精密制御技術をもとに、世界中の研究機関・装置メーカーに採用されるピエゾステージおよびアクチュエータを提供しています。豊富なラインアップと技術力で、お客様のニーズに最適なソリューションをご提案します。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
プリロード付き高負荷ピエゾアクチュエータ（HVPZT）センサーオプション付き
P-235は、1000V駆動の高電圧型ピエゾアクチュエータで、オプションで真空対応、防水対応も可能です。 ストロークは、15µm～最大180µmタイプで、30,000NのPush力と3,500NのPull力を持ち、内部に歪みゲージセンサー内蔵し、クローズドループ制御にでナノレベル位置決めを可能にします。 用途例は、アクティブ振動吸収、アダプティブメカニクス、光学・計測技術・干渉計、スイッチ、レーザーチューニングなど ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
ピエゾアクチュエーター、ピエゾステージなどを取り扱っています。
ピエゾアクチュエーターは、ピエゾ素子からケース内蔵アクチュエーターまで各種取り揃えております。最大ストローク270μm以上。最大発生力70000Ｎ（7000Kg）。低価格で短納期、売れ筋商品は約1週間。オプションのポジションセンサーを内蔵することでクリーピング・ヒステリシスを解消します。ピエゾステージは、多種多様な取り揃えです。最大ストロークは500μm以上。静電容量センサーを内蔵し、リニアリティエラー0.05％以下。30分で既存のAFMをクローズドループ制御にアップグレード。低価格。デジタルコントローラーにより、サーボパラメーター（P.I.D.Notch）の変更が簡単。特定の顕微鏡へ簡単に取り付け可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
特長を生かす為に、ピエゾ素子の特質・性能を十分に理解してご検討ください！
"ピエゾアクチュエータ"は電気エネルギを変位や力といった機械エネルギに 変換する素子です。 当資料では、「ピエゾアクチュエータの種類」や、「ピエゾアクチュエータの 基本特性」、「ピエゾドライバの選定」などを掲載。 ぜひ、ダウンロードしてご覧ください。 【掲載内容】 ■ピエゾアクチュエータとは ■ピエゾアクチュエータの種類 ■ピエゾアクチュエータの基本特性 ■Closed-Loop 制御（変位フィードバック） ■ピエゾドライバの選定 ■静電容量型変位計 ■その他 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ストローク最大13mm、ミラー・光学素子の微細調整に最適
N-470は、高い保持力（100N以上）と7〜13mmの移動範囲を備えたコンパクトな慣性駆動式アクチュエータです。 従来の手動ネジ機構を置き換える設計で、光学ミラーのチップ・チルト微調整や、微小コンポーネントの長期安定な固定に理想的です。 M10×1ネジ、9.5mmクランプシャンクで簡単に装置へ取り付け可能。E-872コントローラと組み合わせることで、正確な微動制御が可能になります。
「薄膜ピエゾテクノロジー」をはじめ「MEMS 技術」や「超高精度組み立て技術」をご紹介
エプソンのコア技術についてご紹介します。 PrecisionCoreプリントヘッドは、インク吐出の原動力となるアクチュエーターに、 素材・製法から自社開発し製造する薄さ1μm薄膜ピエゾを搭載。小型でありながら 精緻なインク吐出性能を有しています。 この他、「MEMS 技術」は小型・高密度ノズル化ができ「超高精度組み立て技術」 ではリーンルームやロボットによる自動化、画像解析による自動検査などにより、 高い品質を安定して実現します。 【特長】 ＜薄膜ピエゾテクノロジー＞ ■素材・製法から自社開発し製造する薄さ1μm薄膜ピエゾ ■電圧による収縮(変位量)が大きく性能のばらつきが少ない ■小型でありながら精緻なインク吐出性能を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ナノレベルの位置決めを実現する高分解能ピエゾアクチュエータ
ナノテクノロジー分野では、ナノレベルの位置制御と微小な動作制御が求められます。特に原子・分子レベルの観察や微細構造の操作では、アクチュエータの分解能や応答性能が研究成果に大きく影響します。 P-216 ピエゾアクチュエータは、サブナノメートル分解能と最大4500 Nの高推力を兼ね備えた高荷重対応ピエゾアクチュエータです。高速応答により、ナノスケールの位置決めや微細動作制御を高精度に実現します。ナノ計測装置やナノ加工装置において、精密な動作制御と安定した操作をサポートします。 【活用シーン】 ・走査型プローブ顕微鏡（SPM） ・ナノインデンテーション ・微細加工 【導入の効果】 ・ナノレベルでの精密な位置決めが可能 ・高精度な操作による実験効率の向上 ・研究開発における新たな可能性の創出
ナノレベル位置決めを実現する高推力ピエゾアクチュエータ
研究開発分野の実験では、精密な位置決めと高負荷条件への対応が求められます。特に光学実験や材料試験など、微細な動きが結果を左右する場面では、ナノレベルの位置制御が重要となります。 P-235 ピエゾアクチュエータは、最大30,000Nの推力と3,500Nの引張力を備えた高荷重対応アクチュエータです。歪みゲージセンサー内蔵モデルではクローズドループ制御が可能で、ナノレベルの高精度位置決めを実現します。これにより、研究開発における実験の再現性向上と高精度なデータ取得に貢献します。 【活用シーン】 ・アクティブ振動吸収 ・アダプティブメカニクス ・光学・計測技術・干渉計 ・スイッチ ・レーザーチューニング 【導入の効果】 ・ナノレベルでの精密な位置決めが可能 ・高負荷条件下での実験に対応 ・実験の再現性向上 ・より正確なデータ取得
ナノレベル位置決めを実現する高推力ピエゾアクチュエータ
光学機器のレンズ調整では、高精度な位置決めと安定した動作が求められます。特に光軸の微調整や焦点距離の制御では、わずかな位置ズレが画像品質や測定精度に大きく影響します。 P-235 ピエゾアクチュエータは、最大30,000Nの高推力と高い剛性を備えた高荷重対応ピエゾアクチュエータです。内部に歪みゲージセンサーを搭載したモデルではクローズドループ制御が可能で、ナノレベルの高精度位置決めを実現します。光学レンズ調整や干渉計測など、高精度な位置制御が求められる光学システムに適しています。 【活用シーン】 ・レンズの光軸調整 ・焦点距離の微調整 ・光学顕微鏡 ・干渉計 【導入の効果】 ・ナノレベルでの高精度な位置決め ・光学系の性能向上 ・実験・研究の効率化 ・高精度な測定の実現
ナノレベル位置決めを実現する高分解能ピエゾアクチュエータ
精密測定分野では、高精度な位置決めと安定した動作が測定精度を左右します。特にナノレベルの測定や校正作業では、微小な位置制御が可能なアクチュエータが不可欠です。位置決め精度が不十分な場合、測定結果や校正データの信頼性に影響を与える可能性があります。 P-216 ピエゾアクチュエータは、サブナノメートル分解能と最大4500 Nの高推力を兼ね備えた高荷重対応アクチュエータです。高速応答により、干渉計測や精密測定装置における微小位置制御を高精度に実現します。 【活用シーン】 ・精密測定器の校正 ・光学系の微調整 ・干渉計測 【導入の効果】 ・ナノレベルでの精密な位置決め ・校正精度の向上 ・作業時間の短縮
