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最大3軸の歪ゲージセンサーによるピエゾステージのフィードバック制御可能
当社標準ピエゾドライバーM-2629シリーズにM-5106 サーボユニットを搭載することで最大３軸の歪ゲージセンサーによるピエゾステージのフィードバック制御が可能です。さらに静電容量変位計M-2218 を搭載することで静電容量変位センサーでのフィードバック制御も実現します。JISラックに搭載可能で、「ひずみゲージセンサー内蔵のピエゾ（各メーカー）」に対応しています。
制御回路、センサーアンプ、ピエゾドライバを一体化 ステージと接続してクローズドループ制御が行えるピエゾコントローラ
チャンネル数 1ｃｈ 出力電圧 -10V～＋150V（BNCコネクタ）
制御回路・センサーアンプ、ピエゾドライバを一体化し、ステージと接続してクローズドループ制御がおこなえるピエゾコントローラ
チャンネル数 1ｃｈ・3ｃｈ OPEN/CLOSED フィードバック切り替え 出力電圧 -10V～+150V（BNCコネクタ）
24 bit DAC×20 kHzサンプリングレート、アナログ制御も対応1軸ピエゾコントローラ
E-709.1C1L型コントローラは、静電容量式センサーを備えたピエゾベースの1chナノポジショニングシステムです。 ・出力電圧 -30～ 130 V ・ダイナミックアプリケーション向けに最適化されたアンプとセンサ ・デジタルリニアリゼーション ・インターフェース：USB・SPI・RS-232、0～＋10 Vアナログ入力制御 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
ピエゾコントローラ クローズドループ制御
静電容量センサー(C)、ひずみゲージセンサー(S)に対応 チャンネル数 1ｃｈ・3ｃｈ 出力電圧-50～150V
最大4軸対応、データ記録・波形生成機能も標準搭載
E-727は最大4チャンネル対応のデジタル制御ユニットで、標準仕様に加え高出力電流モデル（最大1500mA）もラインナップ。 アナログ入力／出力端子に加え、デジタルI/O、センサーモニター出力、波形ジェネレーター機能などを搭載し、先進的なピエゾモーションアプリケーションに完全対応。 センサーバンド幅10kHz、サンプリングレート100kHzでの信号処理が可能で、動的計測や同期制御にも優れた性能を発揮します。
