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幅広いスピードダイナミックレンジ！
New Concept Motor 「ピエゾモーター」は、位置決め機構やステージなどに簡単に組み込み可能な小型アクチュエータです。 半導体製造装置や大口径レンズミラーマウント用に適した高出力タイプ。 広範囲な用途に使用できる新しいコンセプト、ピエゾモーターです。 【特徴】 ○高分解能 ○長いストローク ○小型 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
42×42mmの省スペース設計。顕微鏡・バイオ用途で±0.2µmの高再現位置決めを実現
U-723はPILINE超音波ピエゾモータを採用した42x42 mm×高さ21 mmのXY軸小型リニアステージです。 小型ながら、22 mmXY軸の動作量、最大速度200mm/s。 内蔵インクリメンタルリニアエンコーダーでセンサー分解能10nm、最小動作量0.1µm、双方向再現性 ±0.2µmを実現。 電源OFF時には、2Nのセルフロック保持力で位置を保持。 アプリケーション例は、マイクロマニピュレーション、オートメーション、バイオテクノロジー、サンプル操作、サンプルポジショニング、限られたスペースでの動作。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
