フィードバックステージ(搬送) - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products

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【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりました！

光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能で位置決めが可能です。ストロークは『 20mm 』と長く、搬送と精密位置決めが1台でできます。ナノメートルオーダーの波長を扱うような研究分野で利用されています。

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