フォトスペーサ―(PS)向けネガ型レジスト材料『GLRシリーズ』
高精細な柱状パターンの形成が可能なネガ型レジスト材料です。
『GLRシリーズ』は、下記特性を持つ高精細な柱状パターンの形成が可能なネガ型レジスト材料です。 ■ 高感度:≧ 50 mJ/cm2 ■ 良好なパターニング性:4~20μm ■ 高透過率:≧ 95% ■ 良好な弾性特性 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
- 企業:大阪有機化学工業株式会社
- 価格:応相談
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高精細な柱状パターンの形成が可能なネガ型レジスト材料です。
『GLRシリーズ』は、下記特性を持つ高精細な柱状パターンの形成が可能なネガ型レジスト材料です。 ■ 高感度:≧ 50 mJ/cm2 ■ 良好なパターニング性:4~20μm ■ 高透過率:≧ 95% ■ 良好な弾性特性 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。