フォトニッククリーナー ASM401iMP
小型立体物の表面がクリーンに！ 誰が使ってもエラーのない簡単操作！安全対策！！
製品の高精細化に適合した、ＵＶエネルギーによる精密でクリーンな乾式洗浄法です。低圧水銀ランプより発する短波長の光エネルギー184.9nm、253.7nmはポテンシャルが高く、高精細基板製造過程で生じた有機汚染物質の結合を分解する強いエネルギーを持っています。 同時に立体物の表面上で紫外線ランプとエアーから生じたオゾンにより酸化反応がおこり、有機汚染物質は揮発性の二酸化炭素や水分となり飛散することで、立体物の表面がクリーンになります。
- 企業：株式会社あすみ技研
- 価格：応相談
