【半導体向け】フラットベースヒーター
ウェハ加熱に最適！高性能・長寿命ヒーターで生産効率アップ！
半導体製造におけるウェハ加熱工程では、均一な温度管理が求められます。従来のバンドヒーターでは、熱効率が低く、温度ムラが発生しやすいという課題がありました。そこで、中日本ヒーター株式会社では、高性能・長寿命な「フラットベースヒーター」を開発しました。 【活用シーン】 * 薬液供給ノズルの加熱 * CVD装置におけるガス供給ノズルの加熱 * 実装装置における接着剤吐出ノズルの加熱 * ダイシング装置における冷却水供給ノズルの温度制御 【導入の効果】 フラットベースヒーターは、従来のバンドヒーターに比べて、熱効率が向上し、温度ムラを抑制することで、ウェハの均一な加熱を実現します。これにより、製品品質の向上と歩留まりの改善に貢献できます。また、長寿命設計により、交換頻度を減らし、メンテナンスコストの削減にも繋がります。
- 企業：中日本ヒーター株式会社
- 価格：応相談
