高田工業所社製ダイシングフレーム洗浄装置『TFCシリーズ』
ダイシングフレームに付着したテープ糊痕や指紋等を高い洗浄能力を持つ独自のジェットノズルで洗浄除去する装置！
『TFCシリーズ』は、ウエハー切断（ダイシング）工程で使用される ダイシングフレームに付着した、テープ糊や手脂などをジェットを使用し除去します。 ブラシ等の接触物がない為、糊等の2次付着による洗浄性の劣化がありません。 ■特長 ・高い洗浄性能をもつ独自のジェットノズルを採用した非接触方式洗浄機構 →ブラシ洗浄及びウエス等の布を使用しないので、目づまりによる洗浄力低下、及び再付着がありません。 ・有機溶剤を使用した薬液洗浄方式 ・縦型回転機構による薬液高回収率の実現 ・1 000mm×1 500x2 000mm のコンパクトサイズ ・UV 照射ユニット、テープ除去ユニット取付可 ( オプション） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
