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複数ガス用高圧マスフローメータ！センシリオンの実績のあるCMOSens MEMS技術を活用
『SFM5500-50sccm』は、金属ボディーを採用しているため、高圧耐性を 可能にしている、マスフローメーターです。 フルスケール流量は0.05slm/50sccm。 精度は0.2％FS or 2％SPです。 ご用命の際は、お気軽に当社までお問い合わせください。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：0.05slm ■フルスケール流量：50sccm ■精度：0.2％FS or 2％ SP ■最高使用圧力：10bar ■キャリブレーション：Air O2 N2 Ar CO2 He H2 CH4 and N2O flow ■流体コネクタポート流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
マルチガス校正と交換可能な継ぎ手を組み合わせ！医療、分析、産業の業界の用途に好適
『SFM5500-2slm』は、フルスケール流量が2slmの複数ガス用高圧 マスフローメータです。 CMOSens MEMSフローセンサーが実現する非常に広い測定範囲によって、 一台の機器で一般的なマスフローメーターの複数の流量範囲に対応。 また、金属ボディーを採用しているため、さらに高圧耐性を可能にしています。 ご用命の際は、お気軽に当社までお問い合わせください。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：2slm ■フルスケール流量：2000sccm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：10bar ■キャリブレーション：Air O2 N2 Ar CO2 He H2 CH4 and N2O flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
金属ボディーを採用しているため、さらに高圧耐性を可能にしています！
『SFM5500-10slm』は、マイクロ熱量測定原理に基づいて、センシリオンの 実績のあるCMOSens MEMS技術を活用しているマスフローメーターです。 当製品は、ドリフトすることがなく、稼働中に再校正する必要がありません。 また、マルチガス校正と交換可能な継ぎ手を組み合わせており、医療、分析、 産業の業界の用途に適しております。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：10slm ■フルスケール流量：10000sccm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：10bar ■キャリブレーション：Air O2 N2 Ar CO2 He H2 CH4 and N2O flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
多様な継手とインターフェースに対応！50sccmから200slmまでの測定が可能
『SFM5400』は、高精度(誤差＜1％)、長期安定性と高い繰り返し精度、 また広いダイナミックレンジを備えているマスフローメーターです。 金属性のボディーでできており、多様な継手とインターフェースに対応し 50sccmから200slmまでの測定が可能。 また、センサー素子、信号処理回路が1つのCMOSチップ上に統合されている CMOSens技術を活用しています。高品質材料との組み合わせで、その結果 安定した耐久性、高速で高精度なマスフローメーターとなっています。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：0.05 0.1 0.2 0.5 1 2 5 10 20 50 and 100slm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：10bar ■キャリブレーション：Air O2 N2 Ar CO2 He H2 CH4 N2O SF6 and C4F8 flow ■流体コネクタポート：Swagelock VCO VCR Downmount ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
