ガスフローセンサー『SFM5300』
高精度、構成可能、高速、OEM用デジタルフローセンサー！ダウンマウント接続とデジタルインターフェース
『SFM5300』は、センサー素子、信号処理回路が1つのCMOSチップ上に 統合されているCMOSens技術を活用した高性能なマスフローメーターです。 高品質材料との組み合わせで、その結果安定した耐久性、高速で高精度な 製品となっています。 当製品は、マスフローコントローラー「SFC5300」のバルブのない バージョンで、「SFC5300」はマスフローメーターと同じ性能特性 となっており、類似したアプリケーションに使用され、これら2つの 製品は理想的な組み合わせです。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100slm ■精度：0.2％FS or 2％SP ■最高使用圧力：10bar ■キャリブレーション：Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 flow ■流体コネクタポート：ダウンマウント ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：センシリオン株式会社
- 価格：応相談
