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医療用呼吸器に好適！高容量呼吸器用機器用アナログフローセンサーをご紹介
『SFM3020』は、大流量測定に適しているマスフローメーターです。 低圧力損失となる流路設計となっていますので、医療用呼吸器に適しており、 -10slm～160slmの空気と酸素の流量を、優れた精度かつ非常に高速で測定。 また、ガスは他の流量測定技術と比較して測定ダイナミックレンジが広く、 長期安定性が高いサーマルセンサー素子で測定されます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：-10 - 160slm ■標準精度：±2％ m.v. ■キャリブレーション：Air and O2 ■センサー出力：Flow ■最高使用圧力：1.3 bar ■流体コネクタポート：Medical cone (22 mm) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
安全かつ素早い測定が可能！データは携帯型端末に記録され、後から読み出すことができます
当社が取り扱う、ヘンツ社のセンサを導入した事例をご紹介します。 ガスの排出を制御していない埋立地は、世界的に見てメタンガス排出量が 増加する主要因となっています。メタンを放出すれば、火災のみならず 爆発のリスクも増加し、さらにごく微量でも健康被害を生じます。 ヘンツ社のサーマル式センサはガスマスフローの測定に好適。ガス組成が 分かっていれば、熱量計の原理で直接ガスマスフローを測定できます。 また、実流量の測定には、ヘンツ社のペーン式センサが適しています。 細い配管や低流速でも計測が可能です。 【推奨製品（一部）】 ＜埋立地ガス向け分離型変換器＞ ■ベーン式センサ ・ZS16 ZG1/ZG2 ・ZS25 ZG1 ■サーマル式センサ ・TA10 ZG1B ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
優れた測定精度、高速信号処理時間および堅牢性が特長です！
『SFM3400-AW』は、人工呼吸器や麻酔器等の呼吸器系医療機器に 使用される未熟児と小児向けフローメーターです。 呼吸サイクルへの空気圧接続のため標準医療コーン、そして簡単に 電気接続できる構造を採用しているのが特長。 また、双方向で最大33slm測定でき、空気、窒素および酸素ガスの 完全校正をしています。 【特長】 ■優れた測定精度 ■高速信号処理時間 ■堅牢性 ■双方向で最大33slm測定可能 ■再利用可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
フローチャネルの特殊な機構設計の結果、小さなデッドスペースを実現しました！
『SFM3300-AW』は、長期安定性に優れ、高速で正確な信号を出力する 使い捨て用のマスフローメーターです。 本センサーは最大250slmの流量を双方向で測定することができ、 人工呼吸器やその他呼吸関連用途の口元流量測定に好適。 また、フローチャネルの特殊な機構設計の結果、小さなデッドスペースを 実現し、また僅かに高めた圧力損失は、口元測定時の様々なインレット コンディションへの依存度を低減します。 【特長】 ■長期安定性に優れ、高速で正確な信号を出力 ■小さなデッドスペースを実現 ■最大250slmの流量を双方向で測定可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
呼吸器用機器用近位フローセンサー！長期安定性に優れ、高速で正確な信号を出力します
『SFM3300-AW』は、加圧蒸気滅菌(AUTOCLAVE)処理に耐えられるので、 加圧蒸気滅菌と洗浄を行い再利用することが可能なマスフローメーターです。 本センサーは最大250slmの流量を双方向で測定することができ、 人工呼吸器やその他呼吸関連用途の口元流量測定に適しています。 また、フローチャネルの特殊な機構設計の結果、小さなデッドスペースを 実現し、また僅かに高めた圧力損失は、口元測定時の様々なインレット コンディションへの依存度を低減します。 【特長】 ■加圧蒸気滅菌(AUTOCLAVE)処理に耐えられる ■加圧蒸気滅菌と洗浄を行い再利用可能 ■最大250slmの流量を双方向で測定可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
センサーには、水およびイソプロパノール(IPA)の校正値が格納！
『SLQ-QT500』は、水または炭化水素(アルコール、溶剤、オイル、燃料、 接着剤)系液体に対して最大120ml/minの流量範囲が測定可能で、粒子を 含んだ液体や高粘度の液体の測定に優れた液体フローセンサーです。 SCC1センサーケーブルの1つと組み合わせて半導体業界の要求の厳しい コーティングシステムや、他業界の様々なディスペンシングおよび 液体フローシステムに容易に組み込むことが可能。 当製品の高い感度と測定スピードは、高速ディスペンスプロセスの監視と 制御に新たな付加価値を提供します。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量(H2O)：120ml/min ■精度(H2O)：5％ ■繰り返し精度(H2O)：0.5％ ■フルスケール流量(IPA)：120ml/min ■精度(IPA)：5％ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
高応答（99%応答300ms）を実現した気体用 マスフローセンサー 微小レンジ500mL/minをはじめ豊富なレンジをご用意
高応答(99%応答300ms）を実現した気体用マスフローセンサーを採用した流量計です。質量流量検出で温度や圧力の補正を必要とせず標準状態の流量を常に表示します。多機能表示器との組み合わせで各種流量計測を可能にしています。 ～特長～ ●マスフローセンサーで温度や圧力の補正の必要がありません。 ●高応答センサーの採用で瞬時流量を捉えます。 ●多機能表示器で種々の測定に対応します。 ●表示に比例したアナログ電圧出力を搭載
医療向け最大5ml/分の液体流量測定！薬剤送液パッチやインスリンポンプなどに
『SLD3Pシリーズ』は、正確な流量測定、小型サイズ、複数の治療法との 互換性を兼ね備えたデジタル液体フローセンサーです。 これらの特長により、高精度の使い捨て液体フローセンサーが必要とされる 大量生産向け医療機器の理想的なソリューションとなります。 当製品のプラットフォームには、最大流量5ml/minまで対応できる数種類の バリエーションが用意されています。全センサーは小型フットプリントを 特長としており、マニホールド上のコンパクトな実装に好適です。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量(H2O)：5ml/min ■精度(H2O)：5％ ■繰り返し精度(H2O)：0.5％ ■最高使用圧力：3bar ■流体コネクタポート：ダウンマウント ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
センサー部の圧力損失が非常に低い！高速な信号処理時間と双方向測定が可能
『SFM3200』は、250slmの広いダイナミックレンジと特に小流量での 高精度が特長的なマスフローメーターです。 フローチャネルの特殊な機構設計により、センサー部の圧力損失は非常に低く、 人工呼吸器やその他呼吸関連用途に好適。 また、熱センサー素子が内部で出力信号の線形化と温度補償を行い、高速な 信号処理時間と双方向測定を可能にします。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：-100 - 250slm ■標準精度：±2％ m.v. ■キャリブレーション：Air and O2 ■センサー出力：Flow and T ■最高使用圧力：1.07 bar ■流体コネクタポート：Medical cone (22 mm) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
双方向で最大33slm測定でき、空気、窒素および酸素ガスの完全校正をしています！
『SFM3400-D』は、人工呼吸器や麻酔器等の呼吸器系医療機器に 使用される未熟児と小児向けフローメーターです。 特別なフローチャネルの設計により体積1ml以下の小さい デッドスペースを実現。 また、呼吸サイクルへの空気圧接続のため標準医療コーン、 そして簡単に電気接続できる構造を採用しているのが特長です。 【特長】 ■優れた測定精度 ■高速信号処理時間 ■堅牢性 ■体積1ml以下の小さいデッドスペース ■呼吸サイクルへの空気圧接続 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
多用途低圧力損失デジタルフローセンサー！より幅広い流量範囲と強化された仕様
『SFM3003-300-CL』は、医療用人工呼吸器向け吸気流量測定用の 大流量フローメーターです。 -30～300slmの流量の空気、酸素、及びこれらを混合した気体の流量を 優れた精度、信頼性、長期安定性で測定することが可能。 また、組み込みが簡単なデジタルI2Cインターフェースで出力しており、 その信号は内部で線形化され、温度を補償されています。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：-30 - 300slm ■標準精度：±2％ m.v. ■キャリブレーション：Air, O2 and mixtures thereof ■センサー出力：Flow and T ■最高使用圧力：1.3 bar ■流体コネクタポート：Medical cone (22 mm) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
組み込みが簡単なデジタルI2Cインターフェースで出力！信号は内部で線形化され、温度を補償
『SFM3003-300-CET』は、医療用人工呼吸器向け吸気流量測定用の 大流量フローメーターです。 -30～300slmの流量の空気、酸素、及びこれらを混合した気体の流量を 優れた精度、信頼性、長期安定性で測定し、再校正は不要。 また、圧力損失が非常に低く、応答時間も超高速で、S/N比が非常に 優れています。 【特長】 ■組み込みが簡単なデジタルI2Cインターフェースで出力 ■信号は内部で線形化され、温度を補償 ■圧力損失が非常に低い ■応答時間も超高速 ■S/N比が非常に優れている ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
医療用人工呼吸器向け吸気流量測定用！多用途低圧力損失センサーのご紹介
『SFM3003-300-CE』は、-30～300slmの流量の空気、酸素、及びこれらを 混合した気体の流量を優れた精度、信頼性、長期安定性で測定することが できるフローメーターです。 再校正は不要で、組み込みが簡単なデジタルI2Cインターフェースで出力。 その信号は内部で線形化され、温度を補償されています。 また、圧力損失が非常に低く、応答時間も超高速で、S/N比が非常に優れて います。ご用命の際は、お気軽に当社までお問い合わせください。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：-150 - 300slm ■標準精度：±2.5％ m.v. ■キャリブレーション：Air, O2 and mixtures thereof ■センサー出力：Flow and T ■最高使用圧力：1.3bar ■流体コネクタポート：Medical cone (22 mm) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
多様な継手とインターフェースに対応！50sccmから200slmまでの測定が可能
『SFM5400』は、高精度(誤差＜1％)、長期安定性と高い繰り返し精度、 また広いダイナミックレンジを備えているマスフローメーターです。 金属性のボディーでできており、多様な継手とインターフェースに対応し 50sccmから200slmまでの測定が可能。 また、センサー素子、信号処理回路が1つのCMOSチップ上に統合されている CMOSens技術を活用しています。高品質材料との組み合わせで、その結果 安定した耐久性、高速で高精度なマスフローメーターとなっています。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：0.05,0.1,0.2,0.5,1,2,5,10,20,50 and 100slm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：10bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4,N2O, SF6 and C4F8 flow ■流体コネクタポート：Swagelock,VCO,VCR,Downmount ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
弊社はSensormate社の日本総代理店として、お客様のニーズにお応え致します。
Smate社のフローセンサは、 自社工場にて設計から検査迄の一貫体制により、 低価格・短納期・製品のカスタマイズ等、 お客様のご要望に柔軟に対応が可能です。 ・MEMS小型低流量センサー 低流量域で高感度 ・高性能, 信頼性で低コスト ・高い直線性, 温度補償 ・超低ノイズの信頼性:[dual熱電対による温度勾配変化の検出により] ・圧力ショックや目詰りに強い
熱伝導率に基づく媒体検出機能！業界で実証された当社のフロー検出システムがさらに進化
『SLF3C-1300F』は、熱伝導機能を搭載し、アプリケーション内の 液体を詳細に観察することができる液体フローセンサーです。 熱伝導機能を使うことで、フローを止めた後の液体の熱伝導率を 測定でき、システムの新しい用途や機能に対応可能。 また、「作業用溶液」と「洗浄用溶液」を区別して、機器の 洗浄サイクルが有効であることを確認できます。 【特長】 ■濃度モニタリング ■精度チェック ■洗浄確認 ■安全性の確認 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
最大1ml/minの液体流量センサー！業界を通じて要求に厳しいアプリケーション向け
『SLI-1000』は、フロー制御システムのインテグレーションに好適な 液体フローセンサーです。 水または炭化水素(アルコール、溶剤、油、燃料、接着剤)系液体の 小流量における高精度測定が可能。 液体フローメーターを複数のインターフェースケーブルと組み合わせる ことができる当社のモジュラー方式によって、液体フローメーターを 好適にかつ簡単に流体システムに組み込むことができます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量(H2O)：1ml/min ■精度(H2O)：5％ ■繰り返し精度(H2O)：0.5％ ■フルスケール流量(IPA)：10ml/min ■精度(IPA)：20％ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
デジタルI2C出力と強化された仕様に対応！非常に安定して正確なシステムを実現
『SFM3119』は、コンパクトなデジタルフローメーターです。 -10～240slmの空気、酸素の流量を高い精度と高速で測定し、既存の機器に 容易に組み込むことが可能。 また、特に人工呼吸器や麻酔のような用途での吸気流量検出や、酸素と 空気を非常に正確に混合させる場合に適しています。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：-10 - 240slm ■標準精度：±2％ m.v. ■キャリブレーション：Air, O2 and mixtures thereof ■センサー出力：Flow and T ■最高使用圧力：1.3bar ■流体コネクタポート：O-ring ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
アナログフローおよびガス温度センサー！お客様の要求に合わせたカスタマイズも可能
『SFM3100』は、小型で、簡単に実装することができるアナログマス フローメーターです。 ガス流路内に温度センサーが取り付けられており、高精度な温度補償を実現し、 追加の温度センサーは不要。 また、流量は-24slmから＋240slmの範囲で測定でき、負の流量も検知可能 であることから、エラーや逆流を信頼性高く検知することができます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：-24 - 240slm ■標準精度：±2.5％ m.v. ■キャリブレーション：Air and O2 ■センサー出力：Flow and T ■最高使用圧力：1.07 bar ■流体コネクタポート：O-ring ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
最大80µl/minの液体流量センサー！業界を通じて要求に厳しいアプリケーション向け
『SLI-0430』は、応答時間が短く、高精度であるため、高速注入操作などの 高度かつ動的なプロセスを正確に監視できる液体フローセンサーです。 水または炭化水素(アルコール、溶剤、油、燃料、接着剤)系液体の 小流量における高精度測定が可能。 液体フローメーターを複数のインターフェースケーブルと組み合わせる ことができる当社のモジュラー方式によって、液体フローメーターを 適切にかつ簡単に流体システムに組み込むことができます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量(H2O)：80ul/min ■精度(H2O)：5％ ■繰り返し精度(H2O)：0.5％ ■フルスケール流量(IPA)：500ul/min ■精度(IPA)：20％ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
呼吸器用途の需要に対応する設計！3.3V～5Vdcの供給電圧で動作します
『SFM3019』は、-10slm～240slmの空気と酸素の流量を、優れた精度かつ 高速で測定することができる、量産用デジタルフローメーターです。 センサー素子を通過するその流路設計によって圧力損失が非常に低いため、 人工呼吸器に非常に好適。 また、16ビットデジタル信号は2kHzの周期で出力され、その信号は内部で 線形化され、温度補正を行います。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：-10 - 240slm ■標準精度：±2％ m.v. ■キャリブレーション：Air, O2 and mixtures thereof ■センサー出力：Flow and T ■最高使用圧力：1.3bar ■流体コネクタポート：Medical cone (22 mm) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
SFM3300-Dの後継製品！堅牢でコストパフォーマンスも高く、呼吸チューブに簡単に接続可能 医療用
『SFM3304-D』は、患者の近くで使用するように設計された 個別包装の使い捨て近位ガスフローセンサーです。 双方向測定により吸気流量と呼気流量の両方を最大 ±250slmまで正確に監視。 また、結露を防ぐ内蔵ヒーターを備えているため、 非常に湿度の高い条件でも機能します。 【特長】 ■吸気流量と呼気流量の両方を最大±250slmまで正確に監視 ■結露を防ぐ内蔵ヒーターを備えている ■堅牢 ■コストパフォーマンスが高い ■呼吸チューブに簡単に接続可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
応答時間は標準20ms！スタンドアロン型ラボ設定用の多用途/堅牢液体流量センサー
『SLS-1500』は、堅牢な筐体をそなえ、要求の厳しい産業機器や 研究用途などに合わせた多目的なセンシングソリューションを 提供する液体フローセンサーです。 液体フローメーターを複数のインターフェースケーブルと組み合わせる ことができる当社のモジュラー方式によって、液体フローメーターを 好適かつ簡単に流体システムに組み込むことが可能。 0～40ml/minの流量範囲を高速かつ精密に測定可能ですので、これまで以上に 正確なプロセス監視を行えます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量(H2O)：40ml/min ■精度(H2O)：5％ ■繰り返し精度(H2O)：0.5％ ■最高使用圧力：12bar ■流体コネクタポート：1/4-28 フラットボトム ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
金属ボディーを採用しているため、さらに高圧耐性を可能にしています！
『SFM5500-10slm』は、マイクロ熱量測定原理に基づいて、センシリオンの 実績のあるCMOSens MEMS技術を活用しているマスフローメーターです。 当製品は、ドリフトすることがなく、稼働中に再校正する必要がありません。 また、マルチガス校正と交換可能な継ぎ手を組み合わせており、医療、分析、 産業の業界の用途に適しております。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：10slm ■フルスケール流量：10000sccm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：10bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4 and N2O flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
薬物療法をより効果的に！使い捨てセンサー設計において最大16.6ml/minの低流量
『LD20-2600B』は、フローセンサーを最小限のサイズに抑えながら コストを最適化する一方で、流体、電気、機械的な接続を容易にした 液体フローセンサーです。 標準的なルアーロックフィッティングにより、例えば、カテーテルや 輸液セットなどの流体ラインへ安全かつ容易に実装が可能。 不活性接液部材は、優れた耐薬品性と優れた媒体適合性を備えます。 当製品を使用すれば、薬剤の送液を正確かつリアルタイムで 測定することができます。結果的に、監視および制御がより 容易になれば、薬物療法はより効果的になります。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量(H2O)：16.6ml/min ■精度(H2O)：5％ ■繰り返し精度(H2O)：0.5％ ■最高使用圧力：3bar ■流体コネクタポート：バーブフィッティング ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
マルチガス校正と交換可能な継ぎ手を組み合わせ！医療、分析、産業の業界の用途に好適
『SFM5500-2slm』は、フルスケール流量が2slmの複数ガス用高圧 マスフローメータです。 CMOSens MEMSフローセンサーが実現する非常に広い測定範囲によって、 一台の機器で一般的なマスフローメーターの複数の流量範囲に対応。 また、金属ボディーを採用しているため、さらに高圧耐性を可能にしています。 ご用命の際は、お気軽に当社までお問い合わせください。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：2slm ■フルスケール流量：2000sccm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：10bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4 and N2O flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
性能、コストともに要求が厳しいアプリケーションに対して、高い安定性と正確なシステムを提供します！
『SFM3200-AW』は、250slmの広いダイナミックレンジと特に 小流量での高精度が特長のマスフローメーターです。 フローチャネルの特殊な機構設計により、センサー部の圧力損失は 非常に低く、人工呼吸器やその他呼吸関連用途に好適。 また、熱センサー素子が内部で出力信号の線形化と温度補償を行い、 高速な信号処理時間と双方向測定を可能にします。 【特長】 ■250slmの広いダイナミックレンジ ■特に小流量での高精度 ■フローチャネルの特殊な機構設計 ■センサー部の圧力損失は非常に低い ■再使用可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
費用対効果が高く、コンパクトで信頼性の高い微小流量の測定性能を提供！
『LS32-1500』は、最大40 ml/minのコンパクト耐薬品性液体流量 センサーです。 18x18x59mm3というコンパクトサイズの当製品は、機械的にも非常に 堅牢な設計。20msという速いセンサー応答速度、高い繰り返し精度及び、 高い耐薬品性は、バイオメディカル用途に対して、理想的なソリューション となります。 その他にも燃料電池向けなどの用途など多様なアプリケーションにも適しており、 投薬制御や工業用の自動化のモニタリングなどにも対応しています。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量(H2O)：40ml/min ■精度(H2O)：5％ ■繰り返し精度(H2O)：0.5％ ■最高使用圧力：12bar ■流体コネクタポート：1/4-28 フラットボトム ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
超低ノイズ・高精度。–150〜+300 slm の広範囲をカバーする次世代フローメーター 医療機器向け
『SFM3505-300』 は、SFM3119 / SFM3100 の後継として開発された最新世代の小型デジタルフローセンサーです。 新アーキテクチャと第5世代 CMOSens技術により、超低ノイズ・高精度・広ダイナミックレンジを実現。 –150〜+300 slm という広い流量範囲でも、安定した測定を提供します。 標準仕様（SFM3505-300：2.3% m.v.）に加え、より高精度な上位モデル（SFM3505-300-X：1.5% m.v.）もラインアップ。 【特長】 ■第5世代 当社独自の CMOSens テクノロジー 採用 ■センサー素子と信号処理を単一チップに統合した 高信頼設計 ■標準 I²C デジタル出力（完全校正済み・高速応答） ■空気・酸素に対して校正済み ■圧力損失を低減する 最適化フローチャンネル設計 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
nLからL/minまでの広い測定範囲をカバー！新たなレベルの液体フローセンシング
『SLF3S-4000B』は、液体流量最大600ml/minの液体フローセンサーです。 既存のSLF3xフローセンサー製品群と同じルックアンドフィールで使用でき、 またユーザーは、カスタマイズせずに既存のケーブルまたはソフトウェアを 引き続き使用して読み取りを行うことができるため、ソフトウェアの 再プログラミングは不要。 ポートフォリオは様々な用途を網羅しているので、自動化ソリューションと 流体システムを一人のスペシャリストにより運用できるセンサー技術を 採用したいお客様には好適です。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量(H2O)：600ml/min ■精度(H2O)：5％ ■繰り返し精度(H2O)：0.5％ ■フルスケール流量(IPA)：600ml/min ■精度(IPA)：10％ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
