液体フローセンサー『SLQ-QT500』
センサーには、水およびイソプロパノール(IPA)の校正値が格納!
『SLQ-QT500』は、水または炭化水素(アルコール、溶剤、オイル、燃料、 接着剤)系液体に対して最大120ml/minの流量範囲が測定可能で、粒子を 含んだ液体や高粘度の液体の測定に優れた液体フローセンサーです。 SCC1センサーケーブルの1つと組み合わせて半導体業界の要求の厳しい コーティングシステムや、他業界の様々なディスペンシングおよび 液体フローシステムに容易に組み込むことが可能。 当製品の高い感度と測定スピードは、高速ディスペンスプロセスの監視と 制御に新たな付加価値を提供します。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量(H2O):120ml/min ■精度(H2O):5% ■繰り返し精度(H2O):0.5% ■フルスケール流量(IPA):120ml/min ■精度(IPA):5% ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業:センシリオン株式会社
- 価格:応相談