ブルバルブ(手動弁) - 企業1社の製品一覧

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高温対応バルブ　SCVサブマージブルバルブ『KD-Sシリーズ』

高温環境(最高200℃)で半導体製造プロセスの多種多様なガスに使用可能！お客様の使い勝手に配慮したデザインコンセプト！

『KD-Sシリーズ』は、独自の技術を取り入れ高温環境下で使用が可能なダイヤフラムバルブです。流量の再現性を求められる原子層堆積（ALD）プロセスのプリカーサー（前駆体）供給に好適。樹脂シートの採用によりメタルシートタイプと比べ高温環境下でのシートリークやライフサイクルなどの耐久性能が向上しました。【特長】 ■高温環境に対応 ■製品誤差がなく交換後も互換性を確保 ■安定して再現性のあるガス流量が得られる ■耐熱性及び耐腐食性に優れたPFAをシート材に採用 ■高温環境下でのシートリークやライフサイクルなどの耐久性能が向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

企業：株式会社キッツエスシーティー
価格：応相談

バルブ

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高温対応バルブ　SCVサブマージブルバルブ『TD-Sシリーズ』

高温環境(最高200℃)で多種多用なガスに使用可能な集積化ガスシステム対応のバルブ

『TD-Sシリーズ』は、独自の技術を取り入れ高温環境下で使用が可能な集積化ガスシステム対応のダイヤフラムバルブです。バルブ全体を最高200℃までの高温環境で使用できることにより効率の良いヒーティングが可能。流量の再現性が求められる原子層堆積（ALD）プロセスのプリカーサ（前駆体）供給に適しています。【特長】 ■高温環境に対応 ■安定したCv値 ■PFAシートの採用 ■多種多用なガスに使用可能 ■高耐久 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。