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ブースターポンプ(オイル) - メーカー・企業と製品の一覧

ブースターポンプの製品一覧

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一般産業向け ロータリーポンプ/メカニカルブースターポンプ

一般産業向けの多様なポンプソリューションを提供します

Edwardsでは様々な産業用途に対応できるよう、ロータリーポンプ、ピストン ポンプ、スクリューポンプ、メカニカルブースターポンプなど、すべてオイル シール型でご用意しています。 また、ポンプやアクセサリは、単独でも、工場検査済みの完成システムとしても 出荷することが可能です。 【取扱製品(抜粋)】 ■ロータリーポンプ  E2Mシリーズ、ESシリーズ、Microvacシリーズ、EOSiシリーズ ■メカニカルブースターポンプ  EHブースター、6インチブースター、HV8000ブースター ■ポンプアクセサリ  インレットダストフィルタ、インレットキャッチポット ■真空システム用バルブ ■接続器具およびフランジ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 真空ポンプ

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メカニカルブースタポンプ PRC-A/PMB-C(M)シリーズ

水蒸気、溶剤などの蒸気に対しても安定した性能が得られます。【アルバック/ULVAC】

ドライポンプ、油回転真空ポンプ、水封ポンプなどと組み合わせて使用することにより、粗引ポンプの排気速度が低下する10,000 ~ 0.1Pa の領域で排気速度をアップすることが可能です。 PRC-A シリーズは、PMB-C(M)同様、汎用型としての使用はもちろんのこと、特にポンプ外部および内部のクリーン度が要求される半導体・液晶製造プロセスで使用することを主用途に設計されたルーツ型ポンプです。 PMB-040C, PMB-060C は、熱処理炉、溶解炉や大型成膜装置などの大容量排気として最適です。 【ラインナップ】 ○PMB-001C,CM ○PMB-003C,CM ○PRC-003A ○PRC-006A ○PRC-012A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

  • 真空ポンプ

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