水蒸気、溶剤などの蒸気に対しても安定した性能が得られます。【アルバック／ULVAC】
ドライポンプ、油回転真空ポンプ、水封ポンプなどと組み合わせて使用することにより、粗引ポンプの排気速度が低下する10,000 ～ 0.1Pa の領域で排気速度をアップすることが可能です。 PRC-A シリーズは、PMB-C（M）同様、汎用型としての使用はもちろんのこと、特にポンプ外部および内部のクリーン度が要求される半導体・液晶製造プロセスで使用することを主用途に設計されたルーツ型ポンプです。 PMB-040C, PMB-060C は、熱処理炉、溶解炉や大型成膜装置などの大容量排気として最適です。 【ラインナップ】 ○PMB-001C,CM ○PMB-003C,CM ○PRC-003A ○PRC-006A ○PRC-012A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○オイルフリー →ケーシング室内には潤滑油がないので、 水蒸気、溶剤などの蒸気に対しても安定した性能が得られる ○キャンドモータ採用 →キャンドモータを採用することで、 大気/真空のメカニカルシールをなくすことができた →油漏れの心配がなく、クリーンな環境でご使用いただける ○耐腐食性に優れた表面処理 →主要部品に表面硬度が高く耐食性に 優れたアルマイト処理を施しており、ポンプ内部の傷や腐食を抑える →オプションで表面処理無も用意している ○排気時間短縮に有効な大気圧駆動型（オプション：インバータ） →粗引ポンプとの同時起動が可能なため、 標準型に比べ排気時間が短縮できる ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング ○真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気 ○分析機器、リークテスト装置 ○ガス置換、充填、真空断熱 ○熱処理炉、溶解炉 ○その他各種真空装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。