メンテナンス性の向上に主軸を置いて開発した金属蒸着用電子ビーム蒸発源です。【アルバック／ULVAC】
EGNシリーズは、新たにメンテナンス性の向上に主軸を置いて開発した金属蒸着用電子ビーム蒸発源です。 フラットトップ構造および15mmハースデッキの採用により、電子ビーム蒸発源への着膜面積が少なくなり、高いメンテナンス性を実現しております。 【仕様】 ○電子ビーム偏向角度 270° ○るつぼ数 6 ○冷却水量 10L/min ○外形（W×D×H） 260mm×340mm×144mm ○重量 28kg 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○フラットトップ構造および15mmハースデッキの採用 →電子ビーム蒸発源への着膜面積が少なく、清掃が容易 ○新エミッタ構造の採用 →部品点数を従来比60%に削減し、組み立てが容易 ○るつぼ側面水冷機構 →底面および側面も冷却することで、 るつぼから蒸発材料への混成が少なく、コンタミネーションを抑制 ○ビーム形状セレクト機構 →金属蒸着に最適なリボン形状ビームと、 酸化物/ 化合物に最適なスポットビームの選択が可能 ○高信頼性 →装置メーカーとして蓄積した事例を設計にフィードバック ○2面位置決め構造の採用 →メンテナンス後のビーム位置再現性が向上 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○電子ビーム蒸着用蒸発源 ○イオンプレーティング用蒸発源 ○蒸着ロールコータ用蒸発源 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。
