プラズマモニタ
エッチング・スパッタ・CVD等プラズマモニタに好適！
オーシャンオプティクス社製の小型分光器は、リアルタイムでチャンバ内の プラズマ発光スペクトルを取得するために多くのお客様から選ばれています。 これらの発光スペクトルから求めたプラズマ特性を監視し、 半導体製造におけるプラズマベースのプロセス制御等に好適です。 『プラズマモニタ』は、スタンダードモデルのFLAMEをはじめ、高分解能モデルの HR4000またはバッファリング対応UV高感度モデルOCEAN HDX等の 分光器と関連アクセサリにより構成することが可能です。 半導体製造装置への組み込み等の量産時や特注のアプリケーションにも対応します。 【特長】 ■広帯域のスペクトル測定に対応 ■高い波長分解能 ■光ファイバでの簡易接続 ■ユーザフレンドリなソフトウェアOPwave+（カスタマイズ可能） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：オーシャンフォトニクス株式会社
- 価格：応相談
