エッチング・スパッタ・CVD等プラズマモニタに好適！
オーシャンオプティクス社製の小型分光器は、リアルタイムでチャンバ内の プラズマ発光スペクトルを取得するために多くのお客様から選ばれています。 これらの発光スペクトルから求めたプラズマ特性を監視し、 半導体製造におけるプラズマベースのプロセス制御等に好適です。 『プラズマモニタ』は、スタンダードモデルのFLAMEをはじめ、高分解能モデルの HR4000またはバッファリング対応UV高感度モデルOCEAN HDX等の 分光器と関連アクセサリにより構成することが可能です。 半導体製造装置への組み込み等の量産時や特注のアプリケーションにも対応します。 【特長】 ■広帯域のスペクトル測定に対応 ■高い波長分解能 ■光ファイバでの簡易接続 ■ユーザフレンドリなソフトウェアOPwave+（カスタマイズ可能） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【ラインアップ】 ■ファイバマルチチャンネル分光器 Flame ■高分解能ファイバマルチチャンネル分光器 HR4000 ■高速データ取得・バッファリング分光器 OCEAN FX ■高分解能・バッファリング分光器 OCEAN HDX ■電子冷却裏面入射型高S/Nファイバマルチチャンネル分光器 QEPro ■その他各種アクセサリ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
この製品に関するニュース（1）
企業情報
光測定器を中心に、世界中のメーカーを網羅した最先端の製品を幅広くご用意し、強力なラインナップでお客様のニーズにお応えします。 きめ細やかなカウンセリングを行い、お客様一人ひとりの環境に合ったプロダクトをご用意。また、単なる製品のご案内にとどまらず、ご状況や目的に合わせたシステム構成のご提案でお客様の高い満足を生み出します。 「●●を△△したい」、「●●が△△で困っている」。 そんな時にはぜひご相談ください。私たちオーシャンフォトニクスは長年培ってきた知識と経験を駆使し、お客様の「実現したい」を叶えます。