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PM-KJ001

最終更新日:2023年02月27日

株式会社魁半導体
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プラズマモニター

プロセス管理・リーク管理・エンドポイントの検出に!

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基本情報

【特徴】 プラズマの発光色をRGBセンサでモニター。 お持ちの真空装置のビューポートに設置するだけ※1で使用OK。 PC※2と接続することで簡単操作、記録も可能。 高コストパフォーマンス。(¥111,109~) ※1. ホルダーは別売りです。各種真空ポートに接続するアダプターも用意しています。 ※2. PCは商品に含まれません。

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用途/実績例

【用途】 プロセス管理 リーク確認 エンドポイントの検出

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魁半導体は2002年9月に京都工芸繊維大学発のベンチャー企業として設立。プラズマ技術を用いた表面改質装置や堆積装置の販売をおこなっている。2010年に発売した粉体プラズマ装置は高い技術力が評価され『関西フロントランナー大賞』『中小企業技術賞』を受賞する。 全国の大学・産総研・大手メーカー・R&D部門で多数導入実績有り。 実物(デモ機)に触れて頂いてからの販売を提案します。 また、レンタル・リースにより、お客様のご負担を軽減したご使用方法も提案致します。 半導体関連以外にも、色々な技術相談を承っております。 また、石英やパイレックスの加工・販売を小ロットから承っております。 半導体関連以外にも、色々な技術相談を承っております。 また、石英やパイレックスの加工・販売を小ロットから承っております。

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