OHTおよびAGV/AMRシステムによる自動搬入・搬出により、連続的なプラズマ処理を実現！
当社では、さまざまな搬送アーキテクチャに統合できるよう設計された プラズマシステムを提供しております。 連続的な基板供給による装置稼働率の向上、汚染への暴露低減による 歩留まりの改善、統合されたレシピ管理とSECS/GEM接続による プロセスの完全なトレーサビリティを実現。 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【ラインアップ】 ■GIGA690 AUTO ■80Plus AUTO ■AUTOfab GIGA690 ■AUTOfab 80Plus ■GIGAfab Modular ※詳しくはPDF(英語版)をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
PVA Japan合同会社では、世界中の主要産業分野における進歩を推進する先進のシステムと計測ソリューションを提供しています。 半導体から航空宇宙技術まで、幅広い産業分野において、先端材料の製造、精製、検査のための 革新的なシステムを開発・製造しています。 また、材料や部品の音響、化学、光学検査・分析のための高度なソリューションも提供。 当社の製品と技術のポートフォリオは、効率的で信頼性が高く、拡張性に優れた高品質な生産を可能にします。
