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ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体デバイスの生産性を大幅に向上させます。
当カタログは、ヤマトマテリアルが取り扱うプラズマ装置を掲載したカタログです。 デモ機や、プラズマ装置のラインアップの他、「RIE プラズマ処理のしくみ」や、 「DP プラズマ処置のしくみ」などもご紹介しています。 当社では、プラズマドライクリーナー、エッチャー（エッチング）、アッシャー（アッシング）の処理目的に合った プラズマ装置を、標準品以外にもカスタムメイドで対応。 企画から提案まで一環してお引き受けしています。 【掲載内容】 ■市場・用途 ■プラズマモードの説明 ■デモ機ラインアップ ■プラズマ装置ラインアップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
フラットパネル状部品の洗浄に！プラズマ効果で樹脂等の接着強度を向上！表面改質能力が高いプラズマ洗浄機です。
フラットパネル状部品の洗浄に高い効果が期待できる他、 プラズマ効果で樹脂等の接着強度を向上させるための、 表面改質能力が高いプラズマ洗浄機です。 ■特徴 ・有機汚染物質の洗浄 ・表面改質ができます ■お客様の処理ワーク、生産ラインに応じた設備をご提供します。 ・ローダー／アンローダー付属タイプ ・大型パネル用 ・手動型/全自動型/半自動型 ・オフライン対応仕様可能 ・Heリークディテクタ所有なので、真空度試験も社内にて可能 詳細は『ダウンロード』よりご確認ください
高品質でワイドなマルチジェット 高速処理が可能な大気圧プラズマ洗浄で、費用対効果バツグン
MHD放電を用いて高酸素ラジカルを生成。 工程速度(200mm/sec以上)の高速により、 既存のN2プラズマ4台以上に相当する生産効果があります。 生産量を画期的に向上させることで工程費用削減につながり、CO2 削減することでSDGsに貢献できます。 また、3D形状製品、面積の広い製品や表面活性化が難しい材料においても表面処理に対して好適です。 これまでのプラズマ洗浄機の問題点を解決しつつ、さらに性能をアップグレードさせた新しいプラズマ洗浄ソリューションです。 サンプル評価後、導入検討大歓迎です。
曲面でもムラなく表面改質！寸法はW1500mm×D1300mm×H1700mmでプラズマ出力は1kW
当社で取り扱う曲面対応大気圧プラズマ洗浄機『APP-240-3DS』について ご紹介いたします。 自動で曲面の形状をスキャンし、自由曲面にも対応。 ワークサイズは最大600mm×400mm。 ヘッドの種類はペン型(φ4mm)と回転型(φ4mm)をラインアップ。回転径は 35mm。他社プラズマヘッドの搭載も可能です。 【仕様】 ■寸法：W1500mm×D1300mm×H1700mm ■ワークサイズ：最大600mm×400mm ■プラズマ出力：1kW ■ヘッド種類 ・ペン型：φ4mm ・回転型：φ4mm 回転径35mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基材の曲面に沿ってプラズマヘッドを移動する曲線軌道！濡れ性改善に効果
当社で取り扱う曲面プラズマの改質効果について、ご紹介いたします。 曲線軌道では、基材の曲面に沿ってプラズマヘッドを移動。 純水をスプレーした時の比較では、凸部・端部どちらも親水化し、 水接触角は5°以下。 基材へのダメージが小さく、洗浄の高速化などのメリットがあげられます。 【メリット】 ■曲面への対応 ■大気圧中での洗浄が可能 ■ドライ洗浄 ■基材へのダメージが小さい ■洗浄の高速化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
