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ご要望に合わせてカスタマイズ出来るプラズマクリーナー
・卓上型、低コスト、高性能タイプ ・実験用から本格量産まで使用可能 ・RIEモード標準（DPモード切替器はオプション） ・アルゴン・酸素の2系統のマスフローメーターを搭載 ・標準油回転ポンプ付 標準機を基にお客様のご要求に合わせて、カスタマイズもいたします。弊社では小型バッチ式から中型、大型バッチ式さらに各種自動機まで幅広くラインナップしております。チャンバー構造は石英バレル、平行平板、ロードロックタイプと多種に対応しております。大気圧プラズマについても取り揃えております。
ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体デバイスの生産性を大幅に向上させます。
当カタログは、ヤマトマテリアルが取り扱うプラズマ装置を掲載したカタログです。 デモ機や、プラズマ装置のラインアップの他、「RIE プラズマ処理のしくみ」や、 「DP プラズマ処置のしくみ」などもご紹介しています。 当社では、プラズマドライクリーナー、エッチャー（エッチング）、アッシャー（アッシング）の処理目的に合った プラズマ装置を、標準品以外にもカスタムメイドで対応。 企画から提案まで一環してお引き受けしています。 【掲載内容】 ■市場・用途 ■プラズマモードの説明 ■デモ機ラインアップ ■プラズマ装置ラインアップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高品質でワイドなマルチジェット 高速処理が可能な大気圧プラズマ洗浄で、費用対効果バツグン
MHD放電を用いて高酸素ラジカルを生成。 工程速度(200mm/sec以上)の高速により、 既存のN2プラズマ4台以上に相当する生産効果があります。 生産量を画期的に向上させることで工程費用削減につながり、CO2 削減することでSDGsに貢献できます。 また、3D形状製品、面積の広い製品や表面活性化が難しい材料においても表面処理に対して好適です。 これまでのプラズマ洗浄機の問題点を解決しつつ、さらに性能をアップグレードさせた新しいプラズマ洗浄ソリューションです。 サンプル評価後、導入検討大歓迎です。
曲面でもムラなく表面改質！寸法はW1500mm×D1300mm×H1700mmでプラズマ出力は1kW
当社で取り扱う曲面対応大気圧プラズマ洗浄機『APP-240-3DS』について ご紹介いたします。 自動で曲面の形状をスキャンし、自由曲面にも対応。 ワークサイズは最大600mm×400mm。 ヘッドの種類はペン型(φ4mm)と回転型(φ4mm)をラインアップ。回転径は 35mm。他社プラズマヘッドの搭載も可能です。 【仕様】 ■寸法：W1500mm×D1300mm×H1700mm ■ワークサイズ：最大600mm×400mm ■プラズマ出力：1kW ■ヘッド種類 ・ペン型：φ4mm ・回転型：φ4mm 回転径35mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
