【表面処理】耐プラズマエロージョン 半導体製造装置関連
半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、イットリア溶射をコートすることで耐プラズマエロージョンを付与
■溶射材料:イットリア ■溶射方法:プラズマ溶射 ■施工方法:耐プラズマエロージョン ■施工実績:半導体製造装置関連
- 企業:富士岐工産株式会社
- 価格:応相談
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半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、イットリア溶射をコートすることで耐プラズマエロージョンを付与
■溶射材料:イットリア ■溶射方法:プラズマ溶射 ■施工方法:耐プラズマエロージョン ■施工実績:半導体製造装置関連
【全国対応可能】多品種多様な部品への溶射が可能! 提案~溶射、納品、アフターケアまで一貫体制で丁寧に対応します。
日本コーティング工業が極めてきた 64年以上のローカイド溶射の実績があればこそ、 プラズマ溶射の良さを引き出すことができ、 プラズマ溶射のメリットを十分発揮させることが可能になります。 半導体液晶やエネルギー、飲料や食品分野の実績が多数あります。 【特長】 ■溶射材料は粉末状態。新しい素材への対応も含めて、選択肢がワイド ■高融点材料に強く、しかも皮膜に気孔が少ないため、母材との付着力が強固 ■プラズマ生成には不活性ガスを使用するため、 酸化による材料変化の少ない皮膜をつくることができる ■溶射する材料に適した溶射条件に調整することが可能 ※詳しくはPDFをダウンロード頂くかお問合せ下さい。