プラズマ溶射(半導体製造装置) - メーカー・企業と製品の一覧

【表面処理】耐プラズマエロージョン　半導体製造装置関連

半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、イットリア溶射をコートすることで耐プラズマエロージョンを付与

■溶射材料：イットリア ■溶射方法：プラズマ溶射 ■施工方法：耐プラズマエロージョン ■施工実績：半導体製造装置関連

• 企業：富士岐工産株式会社
• 価格：応相談

• 加工受託