【表面処理】耐プラズマエロージョン 半導体製造装置関連
半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、イットリア溶射をコートすることで耐プラズマエロージョンを付与
■溶射材料:イットリア ■溶射方法:プラズマ溶射 ■施工方法:耐プラズマエロージョン ■施工実績:半導体製造装置関連
- 企業:富士岐工産株式会社
- 価格:応相談
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半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、イットリア溶射をコートすることで耐プラズマエロージョンを付与
■溶射材料:イットリア ■溶射方法:プラズマ溶射 ■施工方法:耐プラズマエロージョン ■施工実績:半導体製造装置関連
φ60の基材でも専用装置で、金属系から高融点のセラミックス系まで広範囲な溶射材料が使用できます。
■溶射材料:金属系・セラミックス系 ■溶射方法:プラズマ溶射 ■施工効果:下記は一部例 アルミナ・・・・耐摩耗性、絶縁性 ジルコニア・・・遮熱、断熱性、絶縁性 ■施工可能最低内径:φ60 ■長さ方向施工可能範囲:約400mm