プラズマ装置 PiPi(ピピ)
小型卓上タイププラズマ装置 PiPi(ピピ)
・スペースを取らず、研究・開発用途に最適 ・使いやすく簡単に処理ができる低コスト装置 ・推奨真空ポンプPD139 ・RIEモード専用
- 企業:ヤマトマテリアル株式会社
- 価格:応相談
1~2 件を表示 / 全 2 件
小型卓上タイププラズマ装置 PiPi(ピピ)
・スペースを取らず、研究・開発用途に最適 ・使いやすく簡単に処理ができる低コスト装置 ・推奨真空ポンプPD139 ・RIEモード専用
研究開発用からプロセス用まで表面処理・改質等のニーズにお応えします!
当カタログでは、研究開発用はもとよりプロセス用まで、ニーズに 対応したプラズマ装置をご紹介しております。 平行平板型標準機「PDCシリーズ」をはじめ、バレル型プラズマ処理装置 「PR500/510」、小型プラズマ装置「PM100/PR200」などを掲載。 プラズマ装置は、シリコンウエーハのレジスト剥離、有機膜の除去、 界面活性、マイクロ研磨、あるいはカーボン被膜の除去等、 広くその効果を発揮しています。 【掲載内容(一部)】 ■プラズマ装置の概要 ■製品ラインアップ ■平行平板型標準機「PDCシリーズ」 ■バレル型プラズマ処理装置「PR500/510」 ■小型プラズマ装置「PM100/PR200」 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。