Particle-PLUS 同時スパッタリング装置のプラズマ解析
正確な形状を考慮した、デュアルマグネトロンスパッタの解析が可能
株式会社ウェーブフロントが自社開発した、粒子法プラズマ解析ソフト ウェア『Particle-PLUS』は基盤とターゲットが平衡でないような装置の 場合の同時マグネトロンスパッタリングでも解析が可能です。 カットセル作成機能により正確な形状と法線方向を考慮しながら、 直交格子の特長である高精度な電場計算を行うことができます。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社ウェーブフロント 本社
- 価格：応相談
