半導体製造装置用プロセスコントローラー
グラフィカルに各種装置・PLCを制御！医療・農業など異分野へ幅広い応用が可能
『半導体製造装置用プロセスコントローラー』は、当社の縦型減圧CVD装置 「HG-21」に搭載された、オリジナルの製品です。 産業機器、医療・農業など異分野へ幅広い応用が可能。 PCから簡単にプロセス条件の変更が行えます。またDI・DO・AI・AOで制御する 多くの装置に応用可能で、各種研究開発用装置に大いに利用できます。 【特長】 ■当社の縦型減圧CVD装置「HG-21」に搭載 ■グラフィカルに各種装置・PLCを制御 ■PCから簡単にプロセス条件を変更 ■DI・DO・AI・AOで制御する多くの装置に応用可能 ■各種研究開発用装置に大いに利用できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：有限会社ハイテクノサービス
- 価格：応相談
