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低発光強度のプラズマでも安定した測定と制御！熱的に安定した光電子増倍管でPEMを構成
『VA PROCOS 2』は、敏感な遷移モードにおいて、反応性スパッタプロセスを 安定化させるために特別設計されたモジュール式プロセス制御システムです。 光学発光スペクトル、カソード電圧、酸素分圧、および/またはその他の PLC信号の組み合わせによるプロセス調整に好適。 さらに、プラズマ放電の安定化、そして1つまたはそれ以上の反応性ガスの 供給を調整することによって製品特性の安定にも利用できます。 【特長】 ■製膜レートの向上 ■"アーク"イベント検出と対処の特殊処理 ■作用点の選択 ■自動オンラインバランス調整 ■熱的に安定した光電子増倍管でPEMを構成 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【製薬企業様、CMO/CDMO様向け】プロセス知見の結集！品質と効率を最大限に引き出す技術移転DXソリューション
こんなことにお困りではありませんか？ ■技術移転文書がエクセル、ワード、pdf 管理 →負荷が高く、誰が・いつ作成し、何故変更したのか確認が困難 ■MESやDCSなどの制御システムにパラメータを手入力 →データ入力によるヒューマンエラーの予防策を探している ■技術移転文書の変更、確認に膨大な時間を費やしている →DX、パラメータ管理のスマート化ソリューションを探している など DeltaV PKMは、デジタルの力で技術移転を加速、プロセスの標準化と柔軟性を向上し、製薬産業でのDXに貢献します。 製薬業界で極めて重要であるデータインテグリティの強化、既存システム・ソフトウェアとの連携のしやすさから グローバルトップ企業様での活用が進んでいます。 ユーザとエマソンで結成された委員会では、ユーザの声を反映したより良い製品開発・継続改善を実施。 患者様にお薬を迅速にお届けできるよう、パイプラインの加速に注力しています。 機能詳細はカタログのダウンロード、または弊社へお問合せください。
