プロセス制御システム『VA PROCOS 2』
低発光強度のプラズマでも安定した測定と制御！熱的に安定した光電子増倍管でPEMを構成
『VA PROCOS 2』は、敏感な遷移モードにおいて、反応性スパッタプロセスを 安定化させるために特別設計されたモジュール式プロセス制御システムです。 光学発光スペクトル、カソード電圧、酸素分圧、および/またはその他の PLC信号の組み合わせによるプロセス調整に好適。 さらに、プラズマ放電の安定化、そして1つまたはそれ以上の反応性ガスの 供給を調整することによって製品特性の安定にも利用できます。 【特長】 ■製膜レートの向上 ■ アーク イベント検出と対処の特殊処理 ■作用点の選択 ■自動オンラインバランス調整 ■熱的に安定した光電子増倍管でPEMを構成 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：フォンアルデンヌジャパン株式会社
- 価格：応相談
