高純度ガス系 ZEROボリュームバルブ『ZCDシリーズ』
バルブ内のデッドボリュームを極限まで最小化!極めて良好なガス置換特性のダイヤフラムバルブです。リフト部(ASSY)は交換可能
『ZCDシリーズ』は、バルブ内の内容積(デッドボリューム)を極限まで 小さくして、ガスの置換特性を高めたダイヤフラムバルブです。 ダイヤフラムの真空閉鎖防止、およびオープン速度を向上させるために、 リフト(ASSY)部がダイヤフラムを強制リフトします。 また、リフト(ASSY)部はユーザーサイドで交換可能です。 【特長】 ■バルブ閉時にシートからメイン流路までのデッドボリュームを最小級に することで、極めて良好なガス置換特性となっている ■ダイヤフラムの真空閉鎖防止、およびオープン速度を向上させるために、 リフト(ASSY)部がダイヤフラムを強制リフトする ■リフト(ASSY)部はユーザーサイドで交換可能 #デッドスペース ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:株式会社キッツエスシーティー
- 価格:応相談