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プローブ位置決めをサブナノ精度で実現するPIMars精密ナノステージ
高精度計測において、プローブの位置決め精度は測定結果の信頼性を左右します。わずかな振動やクロストークが誤差要因となるため、高剛性かつクローズドループ制御による安定したナノポジショニングが求められます。 P-561・P-562・P-563 PIMars Nanopositioning Stages は、パラレルキネマティクス構造と静電容量式センサを採用したXYZ多軸ピエゾフレクシャステージです。再現性±2 nm、リニアリティ0.03％を実現し、低クロストークで高精度なプローブ位置決めを可能にします。 高共振周波数と優れた動的特性により、高速スキャン計測や微小変位測定にも対応。半導体検査やナノ材料解析など、精密計測用途に最適です。 【活用シーン】 ・半導体検査 ・超解像顕微鏡 ・フォトニクス調整 【導入の効果】 ・高精度な測定結果の実現 ・測定時間の短縮 ・製品品質の向上
0.1nm分解能と0.02%リニアリティ。サブナノZ軸制御で製造・計測精度を向上
ナノテクノロジー製造業界では、微細加工や精密測定において、サブナノレベルの位置決め精度が不可欠です。特に、半導体製造やMEMSデバイスの製造プロセスでは、わずかな位置ずれが製品の品質に大きな影響を与える可能性があります。P-620.Z～P-622.Zは、摩擦のないフレクシャガイドシステムとPICMAピエゾアクチュエータの組み合わせにより、高い信頼性と長寿命を実現し、製造プロセスの安定化に貢献します。 【活用シーン】 ・半導体製造におけるウェーハ検査 ・MEMSデバイス製造における微細加工 ・干渉計、共焦点顕微鏡などの精密測定 【導入の効果】 ・製造プロセスの歩留まり向上 ・製品の品質向上 ・測定精度の向上 詳細な製品仕様についてはカタログからご確認いただけます。ご質問などございましたら、ぜひお問い合わせください。
最大35 µmストローク×0.1 nm分解能の高精度ナノポジショニング
計測・評価分野における校正および微小位置決めでは、ナノメートルレベルの分解能と高い位置再現性が求められます。 P-752は、最大35 µmのストロークと最小0.1 nmの分解能（適切なコントローラ使用時）を備えたリニア・ピエゾフレクシャステージです。フレクシャガイド構造により、摩擦やバックラッシュのない滑らかな動作と高い真直度を実現します。 これにより、精密測定機器の校正や評価工程において、安定した微小位置決めをサポートします。 【活用シーン】 ・精密測定機器の校正・性能評価 ・光学系のアライメントおよび位置補正 ・センサー評価・材料試験における微小変位制御 【導入の効果】 ・ナノメートルレベルの位置決め分解能 ・バックラッシュのない高再現性動作 ・安定した微小変位制御による測定精度の安定化
バイオ解析に最適な高精度ナノポジショニングステージ
P-752は、最大35 µmのストロークと最大0.1 nm分解能を備えた高精度ピエゾナノポジショニングステージです。フレクシャガイド構造と高分解能キャパシティブセンサ（クローズドループ仕様）により、ヒステリシスの影響を抑えた高い再現性と安定性を実現します。 細胞レベルの観察や微細サンプルの操作など、ナノメートル精度が求められるバイオテクノロジー分野において、信頼性の高い位置決め性能を提供します。 【活用シーン】 ・蛍光顕微鏡・共焦点顕微鏡での精密フォーカシング ・細胞・オルガノイドのナノスケール位置制御 ・マイクロマニピュレーション ・バイオセンサー評価・ナノレベルアライメント 【導入の効果】 ・最大0.1 nm分解能による高精度位置決め ・クローズドループ制御による高い再現性と安定性 ・コンパクト設計による顕微鏡・分析装置への組込み適合性 ・高速応答による測定効率の向上
