配線形成用途向けポジ型レジスト材料 『UPPシリーズ』
ドライエッチングプロセスにて使用可能なポジ型レジスト材料です
『UPPシリーズ』は、下記特性を持ち、ドライエッチングプロセスにて使用可能な配線形成用途向けポジ型レジスト材料です。 ■ 高感度:≧ 40 mJ/cm2 ■ 良好なパターニング性能:≧ 4 μm ■ 良好なドライエッチング耐性 ※ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
- 企業:大阪有機化学工業株式会社
- 価格:応相談
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ドライエッチングプロセスにて使用可能なポジ型レジスト材料です
『UPPシリーズ』は、下記特性を持ち、ドライエッチングプロセスにて使用可能な配線形成用途向けポジ型レジスト材料です。 ■ 高感度:≧ 40 mJ/cm2 ■ 良好なパターニング性能:≧ 4 μm ■ 良好なドライエッチング耐性 ※ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。