半導体向けポリエチレンフィルタ Photopex PE
用途に応じた幅広い孔径(1nm相当の微細孔径も)と清浄度を有するポリエチレンフィルタ
Cobetter Photopexシリーズは、最先端1nm相当から5μm相当まで幅広い孔径を有する高Retentionのフィルタであり、半導体製造プロセスのLithography工程を初めとする厳しい要求にMeetする清浄度を有します。 この高い清浄度のため、高いShedding性能を示し、フィルタからの抽出を低減しております。 また、用途に応じて膜面積も選択することが可能であります。
- 企業:日本コベッタ株式会社
- 価格:応相談