マイクロ波顕微鏡×一般財団法人材料科学技術振興財団　MST - メーカー・企業と製品の一覧

マイクロ波顕微鏡の製品一覧

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[SMM]走査型マイクロ波顕微鏡法

Scanning Microwave Microscopy

SMM は、導電性プローブを用いて計測試料を走査し、その凹凸形状を観察します。同時に、マイクロ波を探針から試料に照射して、その反射応答を計測することで、特に半導体の場合にはキャリア濃度に相関した信号を得ることができる手法です。SMM 信号の強度はキャリア濃度に線形に相関するため、定量性が高いことが特徴です。・Si デバイスの場合、1015～1020cm-3程度のキャリア濃度に感度がある・キャリア濃度に線形に相関した信号が得られるため、仮定のもとに定量評価(半定量)が可能・AFM像の取得も可能・Si、 SiC、 GaN、 InP、 GaAs 等の各種半導体が計測可能この資料では、適用例や原理、データ例などを紹介しています。詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。

企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
価格：応相談

受託解析
受託測定
受託検査

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【分析事例】SMMおよびSNDMによるSiC

SiCデバイスの拡散層のp/n極性とキャリア濃度分布を評価できます

近年、高耐圧デバイスの材料としてSiCが注目されています。Trench MOSFET構造は素子の高集積化が可能であり、SiCデバイスへの応用展開も進められています。一方、SiCデバイスのドーパント活性化率には課題があり、出来栄え評価が重要となります。今回、SiC Trench MOSFETに関して、SNDM（走査型非線形誘電率顕微鏡）にてキャリア極性判定をSMM（走査型マイクロ波顕微鏡法）にてキャリア濃度分布を評価した事例をご紹介します。　

企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
価格：応相談

受託解析
その他電子部品

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【分析事例】SMMおよびSNDMによるSiC

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