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マスクアライナ×株式会社三明 - メーカー・企業と製品の一覧

マスクアライナの製品一覧

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三明MEMS【露光装置/マスクアライナー/ローコスト(低価格)】

研究開発から、少LOT多品種、量産まで対応する「手動・半自動・全自動」のローコストな露光装置/マスクアライナーをご提案!

 株式会社三明では、コンパクトな微細露光のスタンダード機「LAシリーズ片面マスクアライナー」や、 両面プロセスのローコストアシストモデル「BAシリーズ正面マスクアライナー」、両面・多面プロセスの スタンダード量産機である「BSシリーズ両面同時露光マスクアライナー」といった手動型の露光機をはじめ、 少ロット多品種から量産まで対応した半自動の「セミオートマスクアライナー」や全自動の「フルオートマスクアライナー」など、 優れたローコストな露光装置を多数取り揃えております。 *詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

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  • ウエハ加工/研磨装置

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マニュアル両面マスクアライナー『BA100/160/200』

露光光源照度分布は±5%以内!デスクトップ型と自立型のモデルをラインアップ

『BA100/160/200』は、上下両面に高位置精度パターニングするマニュアル型の両面マスクアライナーです。 デスクトップ型でウェハサイズ4inの「BA100」と6inの「BA160」に加え、 自立型でウェハサイズ8inの「BA200」をラインアップ。 また、アライメント精度はTop-sideにて±2μm、Bottom-sideにて±5μm としております。 【仕様(抜粋)】 ■ウェハサイズ:4in/6in/8in ■露光光源照度分布:±5%以内 ■露光解像度  ・ソフトコンタクト:L/S 3μm  ・ハードコンタクト:L/S 1μm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • ウエハ加工/研磨装置

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