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背面にクリーンモジュールユニットを搭載し、内部は常にクリーンな状態
クリーン設備機器関連商品 マスク保管庫は、下部ローラーに、耐摩耗性に優れた超高分子ポリエチレンを使用しています。背面にクリーンモジュールユニットを搭載し、内部は常にクリーンな状態です。レチクルケースの形状に合わせて、保持具は製作いたします。外形寸法はW950×D930×H1410mm、一室間口はW392×H503mm、収納枚数は40枚です。フィルターはクリーンモジュールユニット1台で、集塵効率は99.99％以上 0.3μmです。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
オールステンレスのクリーンルーム対応の保管庫です！
クリーン設備機器関連製品 マスク保管庫 ●下部ローラーに耐摩耗性に優れた超高分子量ポリエチレンを使用しています。 ●背面にクリーンモジュールユニットを搭載し、内部は常にクリーンな状態です。 ●詳しくはお問い合わせください。
液晶セルやマスクの保管に！
クリーン設備機器関連製品 マスク保管庫 【仕 様】 〇外 形 寸 法:W1104×525×H1191 〇棚 板 枚 数:4枚 〇フィルター:クリーンモジュールユニット1台 〇集 塵 効 率:99.97%以上0.3μm 〇風 量:3.4/4.5m3/min 〇 扉 :マグネットパッキン式 〇本 体:SUS304 ミガキ 〇前 面:帯電防止塩ビ 〇棚 板 材 質:スライド溝付 超高分子ポリエチレン 〇本 体 枠 材 質:アルミニウム アルマイト処理
