スクリーンマスク洗浄機 SC-A12
スクリーンマスク洗浄機 SC-A12
SC-A12は、チップ部品生産用のメッシュスクリーンの洗浄に最適です。洗浄から乾燥まで、約4分の高速自動洗浄で、#500のメッシュスクリーンも洗浄可能です。版サイズは、450mm角、320mm角の2種類に対応します。オプションにより、両サイズの洗浄が1台で可能になります。
- 企業:株式会社サワーコーポレーション
- 価格:100万円 ~ 500万円
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スクリーンマスク洗浄機 SC-A12
SC-A12は、チップ部品生産用のメッシュスクリーンの洗浄に最適です。洗浄から乾燥まで、約4分の高速自動洗浄で、#500のメッシュスクリーンも洗浄可能です。版サイズは、450mm角、320mm角の2種類に対応します。オプションにより、両サイズの洗浄が1台で可能になります。
マスクに付着した1μm以上のパーティクルとレジスト残渣を一挙に完全除去
TWC-200Aは露光工程で使用されるマスクの洗浄に特化して開発されました。 本装置の特長はマスクに付着したレジストとパーティクルを一挙同時に全自動で除去する点にあります。 特にレジスト除去に関しては大手薬品メーカーと共同で専用洗浄剤を開発し、除去効果を大幅に向上させるとともに安全性や地球環境にも配慮しました。 オペレーターはマスクを装填したカセットを乗せるだけ。 危険な薬品に曝される事も無く安全性を高め、露光プロセスの品質向上と歩留まり向上に大きく貢献いたします。