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SDSなど低差圧にて動作可能なマスフローコントローラです
独自の技術で低圧においてもガス流量が制御可能なマスフローコントローラです。 【特長】 ○独自の低圧損構造により、6Torrの差圧で10SCCM(N2)を制御可能 ○AsH3やPH3などのインプラ用途や、液体を加温なしで気体制御も可能 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ○高速・高性能なピエゾアクチュエータを搭載 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
当社独自の自己温度補正方式（米国、日本特許）のセンサを採用した高性能デジタルマスフローコントローラです
独自の特許技術で1.0％S.P.の高精度を実現し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したデジタルマスフローコントローラです。 【特長】 ○高性能1.125インチサイズ・デジタルマスフローコントローラ (ピエゾバルブ、高精度(S.P.保証）、デジタル制御） ○アナログマスフローコントローラとの互換性を維持 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ○SEMI STD.の各種面実装に対応 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
Auシール、ピエゾアクチュエータを採用！各種デジタルインターフェイスにも対応しています
『MC-7000シリーズ』は、サーマルセンサで200msec以下の高速応答を 実現した高速応答マスフローコントローラです。 リンテック独自の自己温度補正方式を採用することで、腐食性ガスや 液化ガスにも対応し、流量精度は±1.0% S.P.を保証。 また、DeviceNetやEtherCATなど、各種デジタルインターフェイスに対応 しています。 【特長】 ■Auシール、ピエゾアクチュエータを採用 ■サーマルセンサで200msec以下の高速応答を実現 ■リンテック独自の自己温度補正方式を採用 ■腐食性ガスや液化ガスにも対応 ■流量精度は±1.0% S.P.を保証 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
当社独自センサにより各種液体流量を精密制御します
ノーマリオープンタイプの液体用マスフローコントローラです。 0.01〜2.0g/min (C2H5OH換算) の流量制御が可能です。液体は、ステンレスを腐食しないものであれば何でもOKです。 【特長】 ○リンテック独自の周囲温度補償方式の流量センサによる長期流量安定 ○ボディ面幅28.6mm、バルブ一体型構造のコンパクト設計 ○汎用デジタルインターフェイスを装備（RS-485準拠） ○ピエゾアクチュエータ採用による高速応答 ○ダイアフラムバルブ構造を採用 （デッドスペース極小、気泡が発生しにくい構造） ○バイパスレス構造 （液体導入、内部パージが容易、取付姿勢自由） ○RoHS対応 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
多彩な機能を持った高性能デジタルマスフローコントローラMC-3000L seriesの高温対応モデルです
独自の特許技術で1.0％F.S.の高精度を実現した、1.125インチサイズの高温用デジタルマスフローコントローラです。 水蒸気などの高温ガス制御に最適です。 【特長】 ○RoHS対応 ○使用温度120℃、ベーキング温度150℃（非通電）が可能 ○デジタルインターフェイスRS-485を装備 ○独自特許技術のセンサを搭載 ○高温対応・高精度のデジタルMFC ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
